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发布日期: 2023-11-30 12:52

  专利摘要显示,本申请涉及一种晶圆重合校准获取方法、装置及校准方法,包括:获取目标晶圆上的至少一组量测点位的膜厚,同组的量测点位自目标晶圆的边缘向目标晶圆的中心分布;在同组量测点位中,确定突变点,突变点为膜厚突变的量测点位;根据突变点与其所在组量测点位对应目标晶圆的边缘之间的距离,获取由目标晶圆的中心指向突变点的方向上的去边距离;根据去边距离,获取晶圆重合校准值bob综合体育·官方网站app下载-ios/安卓/手机app下载。晶圆重合校准值应用于机械手臂的校准,进而使得后续的晶圆被机械手臂放置进沉积腔室时,晶圆的中心可以同沉积腔室内基座的中心重合,从而使得晶圆上的薄膜更加均匀。本实施例中的晶圆重合校准值的获取方法,将校准方法进行量化,使得校准过程变得可控,提高校准效率。

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